ISMI propose un logiciel de suivi des performances de fiabilité des équipements

L'International SEMATECH Manufacturing Initiative (ISMI) a publié son calculateur de fiabilité, de disponibilité et de maintenabilité (RAMCalc), une application Web qui capture et calcule les métriques de la RAM, au niveau de l'équipement, du module et de la plaquette, pour des rapports conformes à SEMI E10. RAMCalc d'ISMI permet aux ingénieurs d'équipement, industriels et de maintenance de calculer des métriques RAM telles que le temps moyen entre les pannes, le temps moyen de réparation, le temps moyen hors ligne et la disponibilité des outils de cluster à chemin unique et à chemins multiples complexes.

Le RAMCalc à voie unique de base, qui est mis gratuitement à la disposition du public, calcule les performances des équipements de fabrication à chambre unique ou non groupés. En plus du calculateur à chemin unique, une version à chemins multiples de RAMCalc permet le suivi d'équipements d'outils de cluster à chemins multiples complexes.

« Le développement d'une solution de collecte de données robuste pour les tests de démonstration d'équipement est essentiel », a déclaré Lorn Christal, chef de projet ISMI. "Le rôle de l'ISMI dans un test de démonstration d'équipement est de fournir des mesures de performance précises formulées à partir de mécanismes de collecte de données standardisés."

Les algorithmes utilisés dans RAMCalc peuvent être chargés indépendamment sur des outils fab pour générer automatiquement des métriques RAM cohérentes avec SEMI E10. Selon Jo Beekman, co-chef de projet, « RAMCalc est flexible. Il génère actuellement des métriques cohérentes avec SEMI E10, mais en utilisant un ensemble d'états différent, il peut être adapté à d'autres métriques telles que celles liées à la productivité des équipements, ou il peut être utilisé pour générer des métriques pour des états qui n'ont pas encore été définis. /P>

SEMI E10 est une norme industrielle bien connue pour mesurer les performances de fiabilité des équipements de fabrication de semi-conducteurs. SEMI E10 établit une base commune pour la communication entre les utilisateurs et les fournisseurs d'équipements semi-conducteurs en fournissant des normes pour mesurer les performances de la RAM de cet équipement dans un environnement de fabrication. Un scrutin pour réviser la norme SEMI E10 est attendu plus tard cette année. Le scrutin tentera de formaliser le calcul des métriques de RAM pour les équipements d'outils de cluster multi-trajets. RAMCalc de l'ISMI est conçu pour se conformer au scrutin émergent.

Le code source RAMCalc est disponible via l'environnement de développement d'applications collaboratives (CADe) de l'ISMI. CADe est un programme de partage de code « communauté » qui est disponible gratuitement pour les membres de l'ISMI et à titre de contrepartie pour les entreprises non membres.

L'ISMI fournira une introduction sur l'utilisation de RAMCalc pour suivre ou comparer les performances de l'équipement dans des situations impliquant des tests marathon et des environnements de production à haut volume lors du Symposium ISMI du 1er novembre 2010. Le cours mettra en évidence de nouveaux concepts :ensembles de processus prévus, cluster à chemin unique et des outils de cluster multi-chemins, et montrez comment RAMCalc peut être utilisé dans chacune de ces situations.

L'application RAMCalc de base est disponible sur le site Web public de l'ISMI à l'adresse http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm. Pour plus d'informations, contactez Johannes Beekman, [email protected], ou Lorn Christal, [email protected].

À propos de l'ISMI
ISMI est une alliance mondiale des principaux fabricants de semi-conducteurs au monde, dédiée à la réduction du coût par tranche et, finalement, du coût par puce, grâce à des programmes de coopération axés sur l'efficacité de la fabrication. ISMI est une filiale en propriété exclusive de SEMATECH, www.sematech.org.