Semitron® MPR1000 pour l'industrie des semi-conducteurs

 

Semitron® MPR1000 est un nouveau matériau d'ingénierie développé par Mitsuibishi Chemical Advanced Materials pour les applications de semi-conducteurs. MPR signifie résistance maximale au plasma. Il est destiné à être utilisé dans des chambres à plasma sous vide pour remplacer la céramique et le quartz pour la production en soins intensifs. Les céramiques sont plus chères et le quartz a tendance à se casser. Il est également plus performant dans cette application que le PEEK, le PAI comme le Torlon® ou les thermoplastiques polyimide. Par exemple, le MRP1000 a une durée de vie plus longue dans les chambres à plasma jusqu'à 25 fois dans l'ozone que les polyimides tels que Vespel®.

Les pièces fabriquées à partir de MPR1000 comprennent des vis, des écrous hexagonaux, des rondelles plates, des bagues de serrage, des bagues de tranchée, des goupilles et des pommes de douche ainsi que des goupilles de centrage, des bagues de mise au point, des isolateurs, des ventouses, des guides de plaquettes et de nombreuses pièces personnalisées.

Avantages du Semitron® MPR1000

Excellente résistance à la chaleur

Faible taux d'érosion dans les chambres à plasma

Faible contenu ionique et faible dégazage

Excellente résistance aux copeaux

Excellente durabilité

Usinage facile

Matériau plastique le moins cher qui offre également les meilleures performances dans les chambres à plasma 

Qu'est-ce que le plasma ?

Le plasma est souvent décrit comme le quatrième état de la matière car ce n'est ni un liquide, ni un gaz, ni un solide. Il existe sous forme d'ions et d'électrons. Essentiellement, le plasma est un gaz ionisé électrifié avec des électrons supplémentaires à la fois négatifs et positifs. Bien que le plasma existe ailleurs dans l'univers, il y en a peu qui se produisent naturellement ici sur terre. Des exemples de plasma sur notre planète sont la foudre, l'électricité statique et les aurores.

Pourquoi traiter une surface avec du plasma ?

Le traitement au plasma de la surface d'une plaquette de silicium est généralement effectué pour le nettoyage, l'activation de la surface, le dépôt et la gravure. Le traitement des surfaces au plasma élimine tout contaminant étranger, ce qui les rend plus adaptées à un traitement ultérieur.

Le traitement plasma d'une surface se fait généralement dans une chambre dont l'air a été évacué. Un gaz s'écoule alors dans la chambre à basse pression. Habituellement, l'oxygène industriel est utilisé comme gaz de traitement, d'où l'expression communément connue « plasma riche en oxygène ». Mais l'azote, l'argon, l'hydrogène et le carbone tétrafluorométhane sont également souvent utilisés. Ces gaz ou une combinaison d'entre eux sont utilisés dans la majorité des laboratoires du monde entier. Le Semitron MPR1000 résiste mieux à ces environnements difficiles que les matériaux traditionnels :quartz, céramique, Torlon®, Vespel® ou PEEK.

Le gaz est ensuite alimenté par une puissance radiofréquence qui a été générée entre un réseau d'électrodes. Le résultat est du plasma. En sélectionnant le mélange gazeux, la pression et la puissance, l'effet du traitement plasma sur la surface peut être contrôlé avec précision.

Faible taux d'érosion

Comparé au pourcentage de perte de poids dans le plasma riche en oxygène, le Semitron® MPR1000 surpasse le PEEK, le Torlon® et le Vespel®. Le MPR1000 s'érode de 0,44% en 1KW. Le PEEK perd 7,98 % tandis que Torlon s'érode de 6,86 % et Vespel de 6,15 %. Le MPR1000 est 13 fois plus performant que Vespel.

Propreté :faible teneur en matériaux ioniques et faible dégazage

Semitron® MPR1000 a une faible teneur en matériau ionique et un faible dégazage. Un ion est un atome ou une molécule qui porte une charge électrique. Par conséquent, les contaminants provenant du matériau dans la chambre à plasma sous vide seront faibles.

Coût

Le Semitron® MPR1000 a un coût global inférieur à celui des autres matériaux couramment utilisés tout en offrant les meilleures performances dans les chambres à plasma.

Impressions, pièces ou problèmes ? Contactez-nous à Craftech Industries, Inc. Hudson, NY.

Craftech est un fabricant d'attaches, de composants et de pièces personnalisées en Semitron MPR1000.