Évaporateurs à film mince : fonctionnement et applications
Principe général
Un évaporateur à film mince dépose des couches atomiques ou moléculaires sur un substrat par évaporation ou sublimation sous vide. Composants : enceinte vide, source de chauffage, porte-substrat mobile.
Deux techniques d'évaporation
Évaporation par effet Joule (résistive)
- Courant électrique dans le matériau cible (fils/filaments ou feuilles minces)
- Matériaux courants : or, aluminium
- Limites : éjection de particules solides pouvant ruiner le film
- Solution : source chauffante close avec orifices d'échappement gazeux
Évaporation par faisceau d'électrons
- Bombardement d'électrons haute énergie sur cible dans un creuset refroidi
- Idéal pour matériaux à très haute température d'évaporation
- Contenant non exposé à la chaleur extrême
- Équipement spécifique, coût élevé
Exigence commune
Les matériaux cibles doivent être stables à l'état gazeux.
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