Cible en alliage de tungstène et de titane pour puces

Cible en alliage de tungstène-titane pour puces

La principale raison pour laquelle les nouvelles puces semi-conductrices choisissent l'alliage de tungstène et de titane cibles comme barrière de diffusion et couche de liaison est que l'alliage a une bonne adhérence de surface et d'excellentes propriétés de dissipation thermique. De cette façon, le produit préparé aura une performance globale plus élevée.

Cible en alliage de tungstène-titane pour puces

L'alliage tungstène-titane est un alliage qui présente les avantages des métaux de transition tungstène et titane. Il présente les caractéristiques d'une densité et d'une pureté plus élevées, d'une meilleure résistance à la corrosion et d'un effet d'expansion de volume plus faible, ce qui peut réduire efficacement la formation de particules dans le processus de fabrication, c'est-à-dire qu'il peut préparer avec succès des films de haute qualité.

Ce qui suit est une méthode de préparation de l'alliage de tungstène-titane :

Étape 1. Prenez une certaine quantité de poudre de tungstène et poudre de titane et les mélanger uniformément sous la protection d'une atmosphère inerte. Le pourcentage en masse de la poudre de tungstène est de 10 à 65 %.

Étape 2. Une presse mécanique ou une presse isostatique à froid est utilisée pour presser le matériau mélangé résultant dans un flan.

Étape 3. L'ébauche produite est placée dans un four de frittage sous vide pour la densification et le frittage.

Étape 4. Après avoir refroidi le matériau tungstène-titane fritté à l'étape 3, il est fondu dans un four à arc électrique sous vide non consommable pour obtenir le produit.

Par rapport à d'autres méthodes de préparation, les avantages de cette méthode de préparation d'alliage tungstène-titane sont :

1. Le processus de production est simple et l'opération est pratique.

2. En utilisant les matières premières mélangées de poudre de tungstène et de titane, le processus de pressage, de frittage et de fusion à l'arc peut résoudre efficacement les problèmes techniques de faible efficacité de préparation de l'alliage de tungstène-titane traditionnel et de contrôle difficile de l'uniformité du matériau et de la teneur en impuretés.

3. Le matériau en alliage de tungstène-titane préparé par cette méthode a un pourcentage massique de tungstène de 10 à 60 %, ce qui convient à la préparation par lots.

Conclusion 

Merci d'avoir lu notre article et nous espérons qu'il pourra vous aider à mieux comprendre l'alliage tungstène-titane. Si vous souhaitez en savoir plus sur d'autres métaux et alliages réfractaires, nous vous conseillons de visiter Métaux réfractaires avancés (ARM) pour plus d'informations.

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