Capteur de débit et de température de laboratoire sur puce

Le Goddard Space Flight Center de la NASA a développé un capteur pour les systèmes microanalytiques qui mesure, en temps réel, le débit et la température du liquide échantillonné. Les capteurs de courant détournent le liquide vers des capteurs de température et de débit séparés, ce qui peut entraîner une fuite de liquide et la nécessité d'un échantillon initial plus important. Cette conception élimine ce détournement. Les capteurs du système mesurent des débits de l'ordre du nanolitre par minute et des températures allant de plus de 150 °C à moins de -80 °C.

Les capteurs de ce système sont enfermés dans du nitrure de silicium (SiN) pour les isoler électriquement du flux de fluide et sont suspendus au milieu du canal pour maximiser leur sensibilité et leur temps de réponse. Les capteurs de température sont utilisés dans le cadre de la conception du capteur de débit. Le capteur de température devant (avant) le réchauffeur donne la lecture initiale de la température du fluide. Le capteur derrière (après) le réchauffeur mesure la quantité de chaleur que le réchauffeur a pu injecter dans le fluide. En connaissant la conductance thermique et la capacité calorifique du fluide, en plus de la puissance dans la résistance et du changement de température, le débit du fluide peut être calculé.

Les capteurs sont fabriqués sur une tranche de silicium (Si) dans laquelle est gravé un microcanal. Une couche sacrificielle est déposée sur la tranche de Si pour combler les canaux; cela fournit une surface plane pour fabriquer les capteurs.

La NASA recherche activement des licenciés pour commercialiser cette technologie. Veuillez contacter le Concierge des licences de la NASA à Cette adresse e-mail est protégée contre les robots spammeurs. Vous devez activer Javascript pour le voir. ou appelez-nous au 202-358-7432 pour entamer des discussions sur les licences. Suivez ce lien pour plus d'informations :https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .